[11a-W351-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

△ [11a-W351-8] 電気二重層構造で測定したPbTiO₃極薄膜の強誘電特性

〇西野 隆太郎¹、藤田 貴啓¹、賀川 史敬^1,2、川﨑 雅司^1,2 (1.東大院工、2.理研 CEMS)

キーワード：強誘電体、PbTiO3、電気二重層

PbTiO₃は典型的な酸化物強誘電体のひとつであるが、そのリーク電流の大きさから100nm以下の薄膜における強誘電特性(分極値・抗電界)の報告は多くない。近年、イオン液体を電極と強誘電体に挟み込んだ構造において、イオン液体/強誘電体界面で形成される電気二重層が生み出す高い電界によって強誘電体の自発分極を反転できることが報告された。この構造ではイオン液体が持つ高い絶縁性によってリーク電流を抑制できる利点がある。本研究ではこの方法を用いて厚さ200nm以下のPbTiO₃薄膜の強誘電特性の評価を行い、その膜厚依存性を調べた。