[11a-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11a-W541-3] マクロステップを持つc面AlN/サファイアテンプレート上に成長させたAlGaN量子井戸の構造解析（２）

〇長澤 陽祐¹、小島 一信²、平野 光¹、一本松 正道¹、本田 善央³、天野 浩³、赤﨑 勇⁴、秩父 重英² (1.創光科学、2.東北大-IMRAM、3.名大工-IMaSS、4.名城大理工)

キーワード：AlGaN、AlGaN 量子井戸

マクロステップを有する発光波長285 nmのAlGaN量子井戸について，波長260 nm サンプルと発光特性を比較した．カソードルミネッセンスの発光強度分布では，マクロステップの段差近傍で強度の高い領域が共通で観察された．テラス上で強度の高い領域が285 nmサンプルでのみ観測された．同じテンプレート上に成長したLEDで260 nmより285 nmの方が高い内部量子効率を示す傾向は、段差近傍だけでなくテラスでも発光に寄与するとして説明できる。