[11a-W933-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[11a-W933-5] SSRM測定の空間分解能の測定荷重依存性

〇吉際 潤¹、嵯峨 幸一郎¹ (1.ソニーセミコン)

キーワード：分解能、SSRM、キャリア

半導体中のキャリア分布を正確に把握するために、SSRM等の測定手法には高い空間分解能が求められる。分解能を正確に評価するために、導電薄膜と絶縁薄膜を積層した試料を作製した。そしてSSRM測定結果から分解能を算出した。試料上の探針荷重が5μNでは分解能5.0nm、10μNでは6.9nm、20μNでは13.7nmと、顕著な荷重依存が認められた。高荷重測定では試料中の電流分布が広がり、高濃度領域が実際よりも広がって見える結果になる。