[11a-W933-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[11a-W933-9] 金属探針を用いた非接触原子間力顕微鏡による試料表面抵抗測定

〇丸山 天悟¹、笈田 浩平¹、藏 大輝¹、富取 正彦²、新井 豊子¹ (1.金沢大、2.北陸先端大院)

キーワード：表面抵抗、原子間力顕微鏡