[11a-W934-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[11a-W934-6] 波長選択赤外光源のための表面プラズモン励起用格子

矢作 秀賀¹、熊谷 慎也²、桝野 雄矢³、石居 真³、〇佐々木 実¹ (1.豊田工大、2.名城大、3.矢崎総業)

キーワード：波長選択赤外光源、表面プラズモン、格子精度

熱源から離れた金格子表面を伝搬する表面プラズモンを利用して波長選択する、傍熱型光源を提案してきた。出射波長が設計値からずれるのを無くすことが目的である。数値解析から、出射波長を決める格子ピッチの他、デューティ比、格子深さが影響すると分かった。これらが±0.1μmずれてもCO₂吸収波長から外れない設計とした。製作途中で寸法評価し、2回誤差補正した。結果、出射波長帯の中心にCO₂吸収波長を持った。