[11p-M136-1~14] 13.3 絶縁膜技術

[11p-M136-10] GeO₂/Ge界面におけるGeO脱離の調査

〇渡邉 龍一郎¹、豊田 健一郎¹、和知 祥太郎¹、岩崎 好孝¹、上野 智雄¹ (1.東京農工大学院)

キーワード：半導体