[11p-PA1-1~15] 1.1 応用物理一般・学際領域

[11p-PA1-12] 陽極酸化法による酸化タンタルナノ構造の作製

〇餅越 葵¹、関山 早紀¹、伊東 千尋¹ (1.和歌山大システム工)

キーワード：タンタル酸化物

金属を陽極酸化することでナノ構造体を作製できる技術を用い、半導体としての利用価値が高く、光触媒としても利用が期待されるタンタル酸化物(Ta₂O₅)のナノ構造体を作製を試みた。結果、直径50nm、長さ10μmのチューブ状のナノ構造が得られた。