[11p-PA2-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

[11p-PA2-9] カソード加熱型RIE 装置により窒素プラズマ処理したTi 薄膜およびバルクTiO₂ の透過率測定

〇長谷部 浩一¹、佐藤 美那¹、松谷 晃宏¹、竹島 利彦²、磯部 敏宏²、中島 章²、松下 祥子² (1.東工大マイクロプロセス、2.東工大物質理工学院)

キーワード：プラズマ処理、窒素プラズマ

窒化チタン（TiN）は，切削や摺動部品などの表面コーティングによる高耐摩耗化や MOSFET のバリアメタルとして広く用いられており，近年は，プラズモニックナノ構造における光熱変換の検討も行われている．TiN の作製には，Atomic Layer Deposition や反応性スパッタなどが用いられている．しかし，これらの装置を用いる場合は，装置構成が複雑になるといった課題がある．そこで，我々は，簡易な構成でTiN 膜の形成を行うことを目的として，カソード加熱機構を有するRIE 装置を用いた窒素プラズマ処理を試みたので報告する．