[11p-PA5-1~3] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[11p-PA5-2] スパッタエピタキシー法を用いた完全圧縮歪SiGe薄膜形成技術

〇野崎 翔太¹ (1.東京農工大学)

キーワード：SiGe