[11p-PA6-1~7] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[11p-PA6-5] PVT法AlN単結晶バルク基板の転位観察

〇姚 永昭¹、菅原 義弘¹、石川 由加里¹、岡田 成仁²、只友 一行² (1.JFCC、2.山口大)

キーワード：窒化アルミ、転位、エッチピット

AlNは次世代パワー半導体材料として注目され、結晶成長やデバイス不良解析の観点から転位評価が重要な課題である。我々は前回まで、X線トポグラフィを用いてPVT法AlN基板の転位種類を調査し、基底面転位、貫通刃状、らせん、混合転位を確認した[1]。本発表では、エッチピットによりウエハ全面の転位を検出した上で、代表的エッチピットの直下に存在する転位のTEM観察を行い、転位のバーガースベクトルを同定した。