[11p-PA7-1~35] 1.2 Education

[11p-PA7-32] Silicon solar cell fabricated without semiconductor manufacturing equipments and hydrofluoric acid aqueous solution

〇Yoshio Yasumori¹, Takumi Okada², Ilyong Choe³ (1.Tokai Univ. Ctr. Educ. Res. Dev., 2.Ctr. for Liberal Arts, Tokai Univ., 3.Tokai Univ. Liberal Arts Educ. Ctr. Takanawa)

Keywords:silicon, solar cell, education

半導体デバイス製作実習では，フッ酸などを用いるため薬品処理用のドラフトチャンバや半導体製造装置が必要となります。このため，これらの設備が完備された状態でないとデバイスの製作実習が行えないという現状がある。本研究では半導体製造装置をほとんど備えていなくても，通常の実験室のような場所において半導体デバイスの製作実習を実施する方法について研究してきた．その結果，半導体製造装置やHF酸水溶液などを使わずに，装置としては熱処理や陶芸などで使用するマッフル炉を用いて，ソーラーモータを駆動させることのできる実験実習用Si太陽電池の製作方法の開発に成功した．