[11p-PB2-1~9] 3.14 Optical control devices and optical fibers

[11p-PB2-4] Effect of Se addition on refractive index of Ge₂Sb₂Te₅

〇Kenta Sakamoto¹, Masashi Kuwahara², Rie Endo³, Hiroyuki Tsuda¹ (1.Keio Univ., 2.AIST, 3.Tokyo Tech)

Keywords:phase change material, optical constant

相変化材料を用いた相変化光スイッチのさらなる性能向上には光吸収の少ない相変化材料が必要となる。本研究では消衰係数を小さくすることを目的としてGe₂Sb₂Te₅にSeを添加し、その屈折率を測定した。石英管中で真空溶解することでSeを添加した。加熱蒸着により成膜し、加熱処理なしと加熱処理ありの薄膜の複素屈折率を分光エリプソメトリにより算出した。