[11p-PB3-1~27] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[11p-PB3-24] ドライエッチングによる単結晶β-Ga₂O₃の表面粗さ評価

〇(B)森山 裕貴¹、宇﨑 滉太¹、新海 聡子² (1.九工大、2.九工大マイクロ化)

キーワード：酸化ガリウム