[11p-S011-1~18] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [11p-S011-7] 酸化ガリウム結晶における電界変調反射スペクトルの観測

〇田中 広也¹、佐々木 公平²、山口 智広¹、本田 徹¹、倉又 朗人²、山腰 茂伸³、東脇 正高⁴、尾沼 猛儀^1,4 (1.工学院大、2.ノベルクリスタルテクノロジー、3.タムラ製作所、4.情通機構)

キーワード：酸化ガリウム、電界変調反射分光、光物性

酸化ガリウムは4.5 eVのバンドギャップをもち、高い絶縁破壊電界(8 MV/cm)を有することからパワーデバイス用の材料として注目を集めている。電界変調反射分光法(ER法)は、バンド構造を詳細に調査する上で大変有効な手法であるが、これまでに酸化ガリウムに適用した報告例は殆どない。そこで、本研究ではER法を用いて酸化ガリウムのバンド構造を解析した。