[11p-S222-1~13] 12.4 Organic light-emitting devices and organic transistors

△ [11p-S222-6] Development of the wet coated thin film encapsulation using PHPS for OLEDs

〇Kaho Uemura¹, Lina Sun², Shin-ichi Iida³, Tatsuhiro Takahashi¹, Yoshiyuki Suzuri² (1.Grad. Sch., Yamagata Univ., 2.INOEL, Yamagata Univ., 3.ULVAC-PHI)

Keywords:OLED, encapsulation, wet coating

フレキシブル有機ELを達成するには一般的にTFE（Thin Film Encapsulation）構造が用いられている。本研究においては、塗布バリア膜としてPHPS（Perhydro-poly-silazane）を塗布し、更なるデバイスの長寿命化を目的とした。VUV照射によりPHPSの緻密な無機薄膜化が生じ、デバイスの保存性が大幅に向上したことを確認した。