[11p-S222-1~13] 12.4 有機EL・トランジスタ

△ [11p-S222-6] PHPSを用いた有機ELの塗布型TFE封止構造の開発

〇上村 佳歩¹、吉田 麗娜²、飯田 真一³、高橋 辰宏¹、硯里 善幸² (1.山形大院有機シス、2.山形大有機イノベ、3.アルバック・ファイ)

キーワード：有機EL、封止、塗布

フレキシブル有機ELを達成するには一般的にTFE（Thin Film Encapsulation）構造が用いられている。本研究においては、塗布バリア膜としてPHPS（Perhydro-poly-silazane）を塗布し、更なるデバイスの長寿命化を目的とした。VUV照射によりPHPSの緻密な無機薄膜化が生じ、デバイスの保存性が大幅に向上したことを確認した。