講演情報

Tweet

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.8 光物性・発光デバイス

[11p-S223-1~16] 13.8 光物性・発光デバイス

2019年3月11日(月) 13:45 〜 18:00 S223 (S223)

七井靖(青学大)、舘林潤(阪大)

17:30 〜 17:45

[11p-S223-15] シリコン酸化膜中の非晶質・ナノ結晶SiCの形成と光物性評価

〇(M1)成松伶¹、川村寿栄¹、森本一総¹、勝俣裕¹ (1.明大理工)

キーワード：ナノ結晶、炭化珪素、フォトルミネセンス