[11p-W242-1~6] Recent Progress of Energy Harvesting

[11p-W242-6] Electromechanical characteristics of Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvester with 2-Degree-of-Freedom System

〇(D)Masaaki Aramaki¹, Takeshi Yoshimura¹, Shuichi Murakami², Kazuo Satoh², Kensuke Kanda³, Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Pref. Univ., 2.ORIST, 3.Univ. of Hyogo)

Keywords:MEMS, PZT, vibration energy harvester

圧電MEMS振動発電素子は搭載している錘が小さいことから、理論限界に相当する発電性能を有するMEMS素子でも低印加加速度時の発電量は小さい。低加速度領域における圧電MEMS振動発電素子の高出力化に向け、MEMS素子とAl板を用いた2自由度構造を作製した。印加加速度0.01Gにおける最大出力電力は88nWとなり、1自由度系におけるMEMS素子の20倍以上の出力電力が得られた。