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△ [11p-W323-13] 誘導結合アルゴンプラズマと相互作用する液体金属からの液滴放出:ガリウムとスズの比較
キーワード:誘導結合プラズマ、液体金属、液滴
誘導結合プラズマと液体状態のガリウム及びスズとの相互作用を調べ、液滴の生成に重要なプラズマパラメータを明らかにすることを目的とした。ガリウムから液滴が生成されるとき、イオンフラックス及びイオンエネルギーの両方に関する閾値が存在した。ガリウムの液滴が生成される同様の条件において、スズの液滴は観測されなかった。この違いは粘度の違いから生じたものであると考えられる。