[11p-W521-1~18] 17.3 層状物質

[11p-W521-16] ミストCVDにより作製した硫化スズ薄膜の特性評価

〇(D)佐藤 翔太¹、坂本 雅仁²、西 美咲²、刘 丽¹、ルトンジャン ピモンパン¹、鄧 太 江³、川原村 敏幸^1,2,3 (1.高知工大院 基盤工、2.知能機械シス工、3.総研)

キーワード：ミストCVD、硫化スズ