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[11p-W541-5] DCスパッタAlNテンプレートを用いたAlGaN深紫外LEDの作製
キーワード:スパッタリング、深紫外LED、高温アニール
殺菌、浄水、医療など幅広い用途への応用可能なAlGaN深紫外LEDは、スパッタAlNを高温アニール処理したものをテンプレートとして用いることにより、作製コストの低減が期待できる。これまではアニールにより表面にヒロックが現れることから結晶性をトレードオフにアニール温度を下げる必要があったが、今回高い結晶性と良好な表面状態を両立するテンプレートが実現し、それを用いた深紫外LEDを作製したので報告する。