[11p-W541-1~20] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11p-W541-6] [講演奨励賞受賞記念講演] 波長変換デバイスに向けたスパッタ成膜AlNの極性制御

〇林 侑介¹、上杉 謙次郎²、正直 花奈子³、片山 竜二⁴、三宅 秀人^1,3 (1.三重大院地域イノベ、2.三重大地域創生戦略企画室、3.三重大院工、4.阪大院工)

キーワード：AlN、スパッタ、極性反転

AlNは~200 nmのバンド端波長、4.3 pm/Vの非線形光学定数d₃₃を有することから、紫外-可視-赤外の広帯域で動作する波長変換材料として有望である。当グループでは、スパッタ成膜したAlNをface to face配置で熱処理することにより結晶性を大幅に向上させる技術を開発し、さらに波長変換デバイスへの応用に取り組んできた。本発表では、積層方向極性反転をスパッタ条件制御で可能であることを示し、疑似位相整合波長変換デバイスへの展開について報告する。