[11p-W611-1~12] 3.13 Semiconductor optical devices

[11p-W611-10] Study on input taper for semiconductor membrane photodetector using photonic crystal

〇Koichi Saito¹, Amemiya Tomohiro^1,2, Xu Zheng¹, Nakamura Nagisa¹, Nishiyama Nobuhiko^1,2, Arai Shigehisa^1,2 (1.Tokyo Tech, 2.IIR)

Keywords:photodetector, photonic crystal

近年、大規模集積回路上のグローバル電気配線層において、発熱や遅延といった問題が生じており、その解決策として光配線が注目されている。そのような背景から、我々は、半導体薄膜光集積回路をLSI上にハイブリッド実装する技術を提案しており、光源をはじめとした一連の光デバイスの研究を行ってきた。特に光検出器については、高速化・高感度化を同時に実現することが求められており、フォトニック結晶を利用した薄膜光検出器の導入を検討してきた。
上記フォトニック結晶光検出器と薄膜導波路間には、モード不整合の面から結合損失が生じやすい。今回、適当なテーパ構造を導入することで結合効率を大幅に改善できることを理論的に示したので、ご報告する。