17:15 〜 17:30
△ [11p-W621-14] 浮遊触媒CVD法による調理用アルミホイル上への紡績性CNTフォレスト合成
キーワード:カーボンナノチューブ、化学気相堆積法、乾式紡績
我々は、カーボンナノチューブ(CNT)大型アセンブリ応用に有効な紡績性CNTフォレストの合成プロセス簡略化に向けて、基板上にFe触媒ナノ粒子を形成した後、連続的にCNT成長へ移行する装置内遂行型二段階浮遊触媒CVD(FC-CVD)法の開発を行ってきた。本発表では、合成コスト削減に向けて、市販の調理用アルミホイルを成長基板として使用した紡績性CNTフォレストのFC-CVD合成を試みたので報告する。