[11p-W621-1~18] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

[11p-W621-9] Influence of the thickness of Ni film formed by EB method on Carbon Nanotube growth

〇(M1)Keiji Nakamoto¹, Kento Mori¹, Seki Masashi², Sang-Seok Lee¹ (1.Tottori Univ., 2.Toshiba TEC Corp., Corporate R&D Center)

Keywords:Carbon Nanotube, the thickness of Ni film, EB method

SWCNTの物理吸着特性を応用し意図的に配置できれば、大気中の揮発性有機化合物 (Volatile Organic Compounds：VOC) ガス成分を検知するデバイスを作製することが可能である。このため任意の位置にSWCNTを生成するための条件が求められる。本報告では、電子線蒸着法によって成膜したNi触媒層の膜厚が、グレイン形成およびCNT成長に及ぼした結果を報告する。