2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[11p-W834-1~18] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2019年3月11日(月) 13:15 〜 18:30 W834 (W834)

末益 崇(筑波大)、立岡 浩一(静大)、山口 憲司(量研機構)、原 康祐(山梨大)

17:45 〜 18:00

[11p-W834-16] アモルファスSi/β-FeSi2複合薄膜の電気伝導機構

〇(M1)齊藤 佑太1、勝俣 裕1 (1.明大理工)

キーワード:アモルファスシリコン、鉄シリサイド、電気伝導