[12a-M111-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12a-M111-6] スーパーボルマン効果を利用したCZ-シリコンネッキング部の転位観察

〇(M1)藤田 優¹、鎌本 春花¹、水落 博之¹、堀川 智之²、津坂 佳幸^1,3、松井 純爾³ (1.兵県大院物質理、2.グローバルウェーハズ・ジャパン、3.兵県大・放射光ナノテクセンター)

キーワード：X線トポグラフィ、放射光、転位

CZ-Si引き上げ結晶ネッキング部内転位観察を、スーパーボルマン効果を利用したX線透過トポグラフィで行った。スーパーボルマン効果では、g₁₁₁, g_-111 ベクトルを同時励起することで、ボルマン効果よりさらに吸収係数が小さくなることが分かっている。本研究では、低エネルギーX線を用い、試料を非破壊のまま結晶内の転位を観察した。その結果、試料の直径が細くなる箇所で、転位密度が減少している様子がトポグラフ像で観察された。