[12a-M113-1~8] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [12a-M113-5] 水浸ラマン分光法によるパターン加工したカーボンドープシリコンにおける歪緩和の評価

〇吉岡 和俊¹、横川 凌^1,2、澤本 直美¹、小椋 厚志¹ (1.明治大学、2.学振特別研究員DC)

キーワード：ラマン分光法、カーボンドープシリコン