[12a-PA1-1~12] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

△ [12a-PA1-7] Optimal Design for an Optical Fiber Probe to Measure Thin Liquid Film Thickness

〇(B)Noriyuki Shimobayashi¹, Jun Watanabe¹, Hiroya Mizutani¹, Takayuki Saito¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:film, measurement, optical fiber probe

液中にある単一光ファイバプローブ（Single Tip Optical Fiber Probe: S-TOP）において，先端から放射された光が気液界面で反射され再入射することで，S-TOPが液界面に接する前に光信号は変化する．この特性を用いた新しい薄液膜計測の手法を提案する．また，独自開発した数値解析システムと計測結果を比較検討し，S-TOPの最適形状を模索する．