[12a-PA3-1~26] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[12a-PA3-1] 金属薄膜を堆積したサファイア基板上へのミストCVD法によるZnO結晶の成長

木村 泰己¹、大橋 紘誠¹、藤原 健八¹、山本 幹大¹、原 和彦¹、〇光野 徹也¹ (1.静岡大工)

キーワード：酸化亜鉛、ミストCVD