[12a-PB1-1~9] 8.1 プラズマ生成・診断

[12a-PB1-1] マイクロ波アンテナへのDCパルス電圧印加による絶縁表面へのイオン衝撃

〇福田 奨¹、宇田川 洸¹、鈴木 陽香¹、田内 裕基²、豊田 浩孝¹ (1.名大工、2.神戸製鋼所)

キーワード：プラズマ