[12a-PB1-1~9] 8.1 プラズマ生成・診断

[12a-PB1-6] 高出力パルスマグネトロンスパッタのマイクロ／マクロパルス設計とプラズマ発光分光計測

〇中込 雄基¹、平井 芳拓¹、西田 寛¹、西宮 信夫¹、實方 真臣¹、山本 宏晃²、戸名 正英²、塚本 恵三²、大下 慶次郎³、美齊津 文典³ (1.東京工芸大工、2.（株）アヤボ、3.東北大院理)

キーワード：マグネトロンスパッタリング、プラズマ計測、光学的計測

高出力パルスマグネトロンスパッタリング（HPPMS）については、高圧電源のタイプに応じたいくつかの方式が提案されてきた。その中のひとつに、出力マクロパルス波形をマイクロパルス列で制御する変調パルス出力（MPP）方式がある。本研究では、マイクロパルスによるプラズマ特性制御の可能性について検討するため、マクロパルスの波形を固定した条件下での入力マイクロパルスに対するプラズマ発光の分光特性評価を行った。