[12a-PB3-1~16] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[12a-PB3-10] 微小曲げ試験による金材料の機械的強度のサンプル形状効果

〇鈴木 康介¹、Ken Hashigata¹、浅野 啓介¹、Chun-Yi Chen¹、名越 貴志²、Tso-Fu Mark Chang¹、山根 大輔¹、小西 敏文^1,3、町田 克之¹、伊藤 浩之¹、益 一哉¹、曽根 正人¹ (1.東工大、2.産総研、3.NTT AT)

キーワード：MEMS、金