[12a-PB3-1~16] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [12a-PB3-13] 光干渉型表面応力センサの変位検出下限評価と非標識分子検出

〇丸山 智史¹、崔 容俊¹、高橋 一浩^1,2、澤田 和明¹ (1.豊技大、2.JST さきがけ)

キーワード：ファブリペロー干渉型表面応力センサ、微小電気機械システム、抗原抗体反応

光干渉型表面応力センサの変位検出下限評価は、従来のピエゾ抵抗型カンチレバーセンサに比べ、一桁優れていることが報告されている。本研究では、作製した光干渉型表面応力センサを用いて、1 pg/mLのヒト血清アルブミン抗原の抗原抗体反応の検出を光反射スペクトル変化と電気的測定の同時測定を行ったので報告する。また、本センサの最小変位検出は116μmであった。これは従来のカンチレバー型表面応力センサと比較して4.3倍の検出感度である。