[12a-PB3-1~16] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

△ [12a-PB3-14] High pH Resolution Extended Gate Type pH Image Sensors with the Charge Accumulation Circuit

〇Yoshitaka Arimi¹, Yasuyuki Kimura¹, Toshiki Wakamori³, Hiroo Yamamoto³, Tatsuya Iwata^1,2, Kazuhiro Takahashi^1,2, Seiichiro Mizuno³, Kazuaki Sawada^1,2 (1.Toyohashi Univ. of Tech, 2.EIIRIS, 3.Hamamatsu Photonics)

Keywords:pH image sensor, High pH resolution, charge accumulation function

高pH分解能のイメージングを可能とする新たなpHイメージセンサを提案する。提案されたセンサは、累積機能を従来の2トランジスタ(2-Tr)画素構造に付与する。累積機能は、画素信号を容量に繰り返し転送することで、信号対雑音比からpH分解能を改善する。このセンサの雑音特性を評価するため, 本画素構成のイメージセンサを作製した。入力換算ノイズは従来の2-Tr画素構造センサから82％減少したため、0.02を超えるpH分解能を実現可能とした。