[12a-PB3-1~16] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[12a-PB3-5] ダブルレプリカ法を用いたマイクロ予備濃縮器の作製

〇平川 裕基¹、Jeong-O Lee²、李 相錫¹ (1.鳥取工、2.韓国化学研究院)

キーワード：マイクロ流体デバイス、ダブルレプリカ法