[12a-PB3-1~16] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[12a-PB3-8] Fabrication of Silicon Nanowires by Operating TEM-STM holder

〇(M2)Yuki Kuroda¹, Yoshifumi Oshima¹ (1.JAIST)

Keywords:silicon nanowires, transmission electron microscope

シリコンナノワイヤは細くなると表面効果が顕著に表れるため、バルク結晶とは異なる電気伝導特性を示すと考えられているが、清浄な表面を持つ細いナノワイヤの電気伝導特性について報告された例はない。本研究では、走査型トンネル顕微鏡の仕組みを組み込んだ透過型電子顕微鏡ホルダー(TEM-STMホルダー)を用い、超高真空透過型電子顕微鏡内で、表面を清浄に保ちながらナノワイヤを作製し、電気伝導特性を計測することに取り組んだ。