[12a-PB3-1~16] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [12a-PB3-9] Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討

〇乙部 翔太¹、渥美 賢¹、古賀 達也¹、山根 大輔¹、飯田 慎一²、伊藤 浩之¹、石原 昇¹、町田 克之¹、曽根 正人¹、益 一哉¹ (1.東工大、2.NTT-AT)

キーワード：MEMS、加速度センサ、Multiple SCD