2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12a-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2019年3月12日(火) 09:00 〜 12:45 W641 (W641)

竹田 圭吾(名城大)、鈴木 陽香(名大)

09:30 〜 09:45

[12a-W641-3] プラズマ球状化処理による水アトマイズステンレス粉末の流動特性改善

板垣 宏知1、花田 幸太郎1、廣瀬 伸吾1 (1.産総研)

キーワード:プラズマ球状化、積層造形

積層造形用金属粉末の低コスト化を目的として、プラズマ処理を用いた低品位粉末の高品位化技術の研究を実施している。本研究では、低コストだが流動性が低く内部欠陥の多い水アトマイズ異形粉末へのプラズマ球状化処理し、処理粉末のXPSやSEMによる表面物性計測や表面観測を実施すると共に、その流動性を評価した。