[12a-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12a-W641-4] 光学応答デバイスに向けたプラズマによる銀ナノ粒子改質

〇(D)細見 圭¹、尾崎 孝一¹、高廣 克己¹、西山 文隆²、横山 新² (1.京都工繊大、2.広島大)

キーワード：プラズモニクス、銀ナノ粒子、アルゴンプラズマ

銀ナノ粒子の局在型表面プラズモン共鳴の屈折率依存性を利用した光学応答センシングにおいて、アルゴンプラズマ処理による検知能の高感度化を報告する。