[12a-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [12a-W641-6] 大気圧長尺マイクロ波プラズマによる大面積高速表面処理

〇小間 浩嗣¹、杉山 敦士¹、鈴木 陽香¹、本田 剛²、豊田 浩孝¹ (1.名大工、2.ニッシン)

キーワード：プラズマ

近年、真空装置を必要としない非熱平衡大気圧プラズマを大面積表面処理に応用する技術への注目が高まっている。均一かつ高密度の大規模プラズマ装置が求められており、我々は定在波を抑制した非対称構造導波管内に空間均一な電磁界分布を形成し、大気圧長尺マイクロ波プラズマを生成する手法を提案してきた。本研究では、均一な長尺マイクロ波プラズマを用いた大面積表面処理の実証を目的として、親水化処理を行った。