[12p-M111-1~13] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12p-M111-10] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学（14）NO対系の赤外吸収と熱処理挙動

〇井上 直久^1,2、川又 修一²、奥田 修一² (1.東京農工大工学院、2.大阪府立大放射線センター)

キーワード：シリコン結晶、窒素酸素複合体、赤外吸収

低濃度窒素ドープCZシリコン結晶の濃度の赤外測定のためNO対の局在振動を検出し同定する。973,1002cm^-1吸収がO(NO)O構造に、855,1064cm^-1吸収がO(NO)に対応すると分かっている。736cm^-1吸収は高温まで安定と確認し(NO)Oに対応させた。769cm^-1吸収はFZ結晶の766cm^-1NN吸収を消去しても残りNO吸収と考えられる。STDの大半を測定できる見通しが得られた。