[12p-M111-1~13] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12p-M111-5] 超高温 RTP ウェーハにおける酸素析出モデルの検討 (3)

〇前田 進¹、中村 浩三²、須藤 治生¹、末岡 浩治³ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン(株)技術部、2.岡山県立大　地域共同研究機構、3.岡山県立大　情報工学部)

キーワード：シリコン、急速昇降温熱処理、酸素析出