[12p-M116-1~12] 3.14 Optical control devices and optical fibers

[12p-M116-10] Lithium Niobate on Insulator Optical Waveguide by Ultraprecision Cutting

〇(M2)Keigo Kamimura¹, Ryo Takigawa², Keiichi Nakamoto¹ (1.Tokyo Univ. of Agriculture and Technology, 2.Kyushu Univ.)

Keywords:Lithium Niobate on Insulator, Ultraprecision Cutting

ニオブ酸リチウム結晶は優れた電気光学効果や非線形光学効果を有し，近年結晶内に強い光閉じ込めを可能とするLN on Insulator（LNOI）光導波路が注目されている．しかし従来のエッチング技術では平滑な側壁を持つリッジ型光導波路の作製は困難であった．そこでLN結晶の超精密切削加工に着目し，切込み深さをナノレベルにし繰り返し切削することで延性モード加工を行った．本研究では超精密切削加工により直線・曲線LNOI光導波路を実現した．