[12p-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-W541-2] ナノPSS上スパッタ堆積アニールAlN膜を基板に用いたホモエピ成長

〇伊庭 由季乃¹、正直 花奈子²、上杉 謙次郎³、肖 世玉⁴、三宅 秀人^2,4 (1.三重工、2.三重大院工、3.三重大地域創生戦略企画室、4.三重大院地域イノベ)

キーワード：窒化アルミニウム、有機金属気相成長、ナノPSS

周期的に配列された円錐型ホールをもつNPSS上に、スパッタ堆積AlN膜のFFAを行い、その基板上に有機金属気相成長法を用いてAlN膜を成長させ、平坦部(c面)で形成される転位の低減と転位の挙動、AlN会合メカニズムを調べた。NPSSの凹部ではAlN膜の横方向成長によりホール上にボイドが形成され、ホール側面ではホール中心に向けて傾いたc軸配向を有するグレインが観察された。AlN膜厚が1.2 µm付近で会合し一部で混合転位が形成されている。