[12p-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-W541-3] N極性AlNにおける表面平坦性のサファイア基板オフ角依存性

〇磯野 竜弥¹、江﨑 建彌¹、伊藤 忠寿²、坂本 凌太²、姚 永昭³、石川 由加里³、岡田 成仁¹、只友 一行¹ (1.山口大院・創成科学、2.山口大工、3.ファインセラミックス)

キーワード：AlN、MOVPE、N極性