[12p-W611-1~11] 3.13 Semiconductor optical devices

[12p-W611-3] Study on Beam Quality Improvement of high Power VCSEL Amplifier

〇Zeuku Ho¹, Keisuke Shimura¹, Xiaodong Gu¹, Akihiro Matsutani², Fumio Koyama¹ (1.Tokyo Tech. FIRST, 2.Tokyo Tech. Dept)

Keywords:VCSEL, Semiconductor optical amplifier

次世代のレーザ加工技術では高出力と高ビーム品質を両立した光源が求められている．我々が提案するVCSEL増幅器は長尺化することで，より高出力かつ幅の狭いビームが得られる．またASEを抑圧することで増幅器長をcm規模まで長尺化できる可能性を示した．今回はパルス動作によるワットクラスの高出力化，および高バイアス領域におけるビーム品質の改善について検討を行ったので報告する．