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[12p-W611-3] Study on Beam Quality Improvement of high Power VCSEL Amplifier
Keywords:VCSEL, Semiconductor optical amplifier
次世代のレーザ加工技術では高出力と高ビーム品質を両立した光源が求められている.我々が提案するVCSEL増幅器は長尺化することで,より高出力かつ幅の狭いビームが得られる.またASEを抑圧することで増幅器長をcm規模まで長尺化できる可能性を示した.今回はパルス動作によるワットクラスの高出力化,および高バイアス領域におけるビーム品質の改善について検討を行ったので報告する.