[9a-M114-1~12] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[9a-M114-9] Application of diamond wafer to Minimal Fab

〇Kazumasa Nemoto¹, Hiroyuki Tanaka¹, Shuichi Noda¹, Noriko Miura², Sommawan Khumpuang^1,2, Shiro Hara^1,2 (1.AIST, 2.Minimal Fab)

Keywords:Minimal Fab

新材料の典型とも言えるダイヤモンドのデバイスの開発を、ミニマルファブの優位性を踏まえて進める事にした。そこで、ミニマルファブで利用可能な形状のハーフインチダイヤモンド基板を試作する事に成功した。また、このダイヤモンド基板を用いて実際にデバイス向け各種プロセスが可能かどうかもテストしたので、報告をする。