[9a-PA3-1~10] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[9a-PA3-7] プレーナ型シリコン熱電発電デバイスの出力の熱伝導層膜厚依存性

〇野口 生那¹、目崎 航平¹、島 圭佑¹、姫田 悠矢¹、武澤 宏樹¹、平尾 修平¹、富田 基裕¹、渡邉 孝信¹ (1.早大理工)

キーワード：熱電変換、エネルギーハーベスティング

熱電変換を行うには温度差をつけることが重要である。そのために一方のAl電極を高温側として厚く堆積させることでもう一方の低温側電極の加熱を抑える。一方で厚くなりすぎると熱抵抗が大きくなり、高温側電極が十分加熱できなくなる。本研究では、最適な熱伝導層膜厚を明らかにするため、実験とシミュレーションで調査した。